Sistemụ sputtering oghere magnetron bụ ụdị akụrụngwa nke enwere ike iji maka itinye akwa mkpuchi ihe nkiri dị mkpa na akụrụngwa dị iche iche nwere mkpuchi ọla ma ọ bụ arụ ọrụ.
Ụdị ihe nkiri: ihe nkiri metal dị iche iche ma ọ bụ iko, ihe nkiri seramiiki
Akụrụngwa size: dị ka ndị ahịa chọrọ, anyị nwere ike chepụta dị iche iche nha nke mmepụta otu ọnụ ụlọ otu ọnụ ụzọ, otu ọnụ ụlọ abụọ ọnụ ụzọ, abụọ ụlọ akụrụngwa na-aga n'ihu mmepụta akara.
Usoro mkpuchi mkpuchi:> nkeji 10 (dị ka ụdị usoro dị iche iche si dị, okirikiri mmepụta mkpuchi dị iche)
Ndị na-arụ ọrụ: 2-3 Ike ike kwa elekere:> 20 kW
Ihe: carbon ígwè ma ọ bụ igwe anaghị agba nchara
Usoro gas: argon (dabere na usoro, nitrogen, acetylene, oxygen, wdg nwere ike iji)
Ọrụ nkwado: ikuku abịakọrọ, mmiri jụrụ oyi, oven, usoro gas, ihe ezubere iche
Ogologo ndụ ogologo
Uru nke mkpuchi nke teknụzụ magnetron sputtering etinyere:
Ọtụtụ agba na-egbuke egbuke, ọla
Nchekwa ọkọchị mara mma
Usoro omume gburugburu ebe obibi
A na-eji teknụzụ sputtering magnetron nke etiti oge na mkpuchi agụụ maka ebumnuche ịchọ mma.Anyị nwere ike iji teknụzụ sputtering a mee ihe nkiri ịchọ mma mara mma.Ihe mkpuchi na-abụkarị ígwè n'ihi na agba a na-emepụta site na mkpuchi agụụ na-enweta site na reactive sputtering.Na usoro a, magnetron sputtering cathode na-emepụta ụfọdụ okpomọkụ, na-akpata nrụrụ nke okpomọkụ-labile akụrụngwa.