Ngwakọ PVD igwe maka mkpuchi siri ike
Isi mkpuchi
| Mkpuchi | Isi ike hv | Ọnụọgụ esemokwu | Nguzogide corrosion | Yiri Nguzogide | Okpomọkụ ọrụ kacha C | Agba |
| TiN (Titanium nitride) | 2200 | 0.5 | Ọ dị mma | Magburu onwe | 525 | Ọlaedo |
| TiN-LT (Titanium nitride dị ala) | 2200 | 0.5 | Ọ dị mma | Magburu onwe | 525 | Ọlaedo |
| TiCN (Titanium Carbonitride) | 3000 | 0.4 | Ọmarịcha | Magburu onwe | 400 | Violet |
| AlTiN (aluminom titanium nitride) | 3600 | 0.6 | Ọ dị mma | Magburu onwe | 750 | Nwa |
| Chromium nitride (CrN) | 2400 | 0.5 | Magburu onwe | Ọ dị mma | 700 | Ọlaọcha/isi awọ |
| ZrN (Zirconium nitride) | 2500 | 0.5 | Ọ dị mma | Magburu onwe | 600 | Ọlaedo dị ọkụ |
Isi atụmatụ
1. PVD mkpuchi ụlọ bụ igbe ụdị Ọdịdị nke n'ihu ọnụ ụzọ nke e mere nke igwe anaghị agba nchara ohi
2. Nkọwa nke ụlọ mkpuchi na axle size nke ọrụ-ibe na-ezute n'ozuzu chọrọ nke mkpuchi mkpa.
3. Isi iyi Arc dị elu na ntụkwasị obi
4. Cylindrical ma ọ bụ planar magnetron sputter dị
5. Akpaaka ma ọ bụ njikwa aka nke PLC dị
Ngwa
Iji mee igwe mkpuchi PVD, ị ga-achọ:
Mmiri jụrụ oyi: Okpomọkụ dị 15-28 Celsius, olu oyi: 5p-15p
Compressor: Olu nke tank: 0.5-2/cubic mita
Eletrik: ọ dịghị ihe na-erughị 80 ~ 150kva, dị ka olu nke PVD igwe.
Maka pretreatment na metal akụkụ:
1. Ultrasonic ịsacha igwe
2. Igwe mmiri dị ọcha ma ọ bụ / ọ bụrụ na mmiri dị ọcha, 1-2 tọn / awa
3. Elu nke substrates (ngwaahịa) ga-adị ọcha, akọrọ
4. Onye ọrụ: Dị ka ekwuru ikike: 1 - 2 ndị na-arụ ọrụ
Maka usoro:
1. Akụrụngwa: ihe ebumnuche
2. Gases: A2, N2, O2, C2H2, wdg
3. All tank tank chọrọ nrụgide na-ebelata valvụ na ọkpọkọ gas, njikọ
4. Pump mmanụ na ihe ndị ọzọ na akụkụ ndị ọzọ ndepụta akụkụ ahụ mapụtara
